1.工作人員會上門勘察測量數(shù)據(jù)。

與建設(shè)單位進行交流，了解提取生產(chǎn)工藝，根據(jù)現(xiàn)場的測量情況，進行詳細(xì)的施工程序規(guī)劃及步驟。

2.材料進場

施工材料主要有：

保溫圍板;

鋁合金材料：U型槽鋁、吊頂T型鋁、外圓弧、內(nèi)圓弧、角鋁等;

密閉門、密閉窗;

各配件。

3、畫線放線

4、鋁材安裝

風(fēng)淋室，潔凈棚，FFU，潔凈工作臺，高效送風(fēng)口，初，中，高效過濾器，潔凈風(fēng)柜，高壓送風(fēng)箱，風(fēng)柜，全自動洗手機，貨淋室，自動門風(fēng)淋室，保溫材料，凈化燈具，五金交電，裝修專用凈化鋁材。

5、墻板安裝

根據(jù)半導(dǎo)體無塵車間要求不同，采用的板材也不一樣。比如：溫濕度要求、防水防潮、保溫隔熱、耐腐蝕、耐酸堿、抗氧化、硬度高等等，需要知道用戶屬于什么行業(yè)，做什么產(chǎn)品，適合什么級別，再根據(jù)這些要求去選擇適合的板材。

6、吊頂安裝

沒有的強制標(biāo)準(zhǔn)。但是吊頂內(nèi)的設(shè)備需要高度一定要留足。其中，除建筑構(gòu)造需要空間外還應(yīng)考慮：送風(fēng)、回風(fēng)、排煙、電纜橋架、工藝直排、工藝純水、壓縮空氣、事故照明各類設(shè)備設(shè)施外還應(yīng)考慮檢修人員的活動和操作空間需要。

7、打膠收邊

打膠能使墻面更加美觀好看，粘合縫隙，也起一定的固定作用。

8、安裝門

潔凈門為彩鋼板夾芯壁板門，門扇材質(zhì)同壁板墻。

門的材料符合無塵車間要求，門框的三邊及門底部應(yīng)有密封。

門在工廠預(yù)制完成，門框結(jié)構(gòu)適合在墻板上安裝, 寬度適合墻板模數(shù)1200mm的寬度。

門框≥1.6mm鋁合金型材或鍍鋅鋼板制作，表面防靜電粉末噴涂，顏色待定。

門扇≥1.2m熱鍍鋅鋼板制作，鍍鋅量不小于90g/m2， 表面防靜電粉末噴涂，顏色待定。

門夾芯材料與墻板一致，門厚度與墻板厚度一致。

門的防火性能符合圖紙要求。

門上視窗為6mm厚浮法玻璃。

門配套閉門器及絞鏈，門鎖等五金，五金要求為不銹鋼材料。

9、燈具安裝

10、設(shè)備安裝

傳遞窗、潔凈工作平臺、FFU風(fēng)機過濾單元、層流罩等。

11、線路布置

無塵車間設(shè)計照明布線應(yīng)同各類電氣線路、各專業(yè)管道一樣，遵循一個“隱蔽”的原則。潔凈室氣流流型不同，它的建筑結(jié)構(gòu)也不相同，非單向流潔凈室，一般只有設(shè)技術(shù)夾層或吊頂;垂直單向流潔凈室，設(shè)有上下技術(shù)夾層，上技術(shù)夾層是送風(fēng)靜壓箱，循環(huán)風(fēng)處理裝置、高效過濾器，部分電力、照明、通信管線也在此敷設(shè);下技術(shù) 夾層是回風(fēng)靜壓箱(回風(fēng)道)，一般敷設(shè)水管、氣體管道、電氣管線、電纜橋架、封閉式母線等;與潔凈室相毗鄰設(shè)有技術(shù)夾道或技術(shù)豎井，敷設(shè)豎向管道或放置那些不宜放在內(nèi)的輔助生產(chǎn)設(shè)備。

無塵車間中照明配電箱由于燈具的所在位置常常設(shè)在頂棚以上的技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，這樣容易接近負(fù)荷中心，水平布線短，抻于隱蔽。

只設(shè)有吊頂?shù)臒o塵車間，吊頂內(nèi)管線復(fù)雜，注意電氣管線敷設(shè)時要注意盡量遠(yuǎn)離爆炸性氣體管道或采取相關(guān)措施;必須在無塵車間內(nèi)安裝的照明配電箱、開關(guān)等應(yīng)盡量暗裝，電線、電纜管線穿過吊頂處必須進行密封處理，防止吊頂內(nèi)灰塵和細(xì)菌等進入無塵車間。

12、風(fēng)管系統(tǒng)安裝

無塵車間風(fēng)管保溫：

風(fēng)管保溫前必須進行漏光測試完畢;

風(fēng)管保溫材料鐵皮及保溫棉分別刷膠充足;

小塊保溫棉拼接盡量貼在風(fēng)管上側(cè)隱蔽不易看到處;

法蘭兩邊處不必從新加厚貼保溫，直接環(huán)形加貼保溫即可;法蘭保溫寬度100mm，接縫至于頂部;

保溫棉的用量不得超過成品風(fēng)管鐵皮風(fēng)管面積的15%(高、效風(fēng)口另算)。

13、地坪漆施工

隨著地坪漆行業(yè)的快速發(fā)展，在工廠裝修施工中，地坪漆的運用必不可少，潔凈無塵的地面當(dāng)然是企業(yè)上等級、產(chǎn)品上檔次的首要選擇，所以在選擇地坪漆的時候，也需要多加的注意。好的地坪漆有防塵、耐磨、附著力強、硬度高、防霉、耐油污、抗酸堿腐蝕，清潔方便、造價低廉、施工快捷、美觀大方等特點。

14、空調(diào)安裝

系統(tǒng)：凈化空調(diào)系統(tǒng) ，是由高效的通風(fēng)過濾器，過濾空氣中的顆粒物達到所需要的空氣等級，如：十萬級、萬級等。

15、調(diào)試運行

控制無塵車間空氣參數(shù)的目的—檢查無塵車間是否符合給定的潔凈度級別。無論是在投產(chǎn)調(diào)試工作完成后的無塵車間檢測階段，還是無塵車間使用階段都要完成空氣參數(shù)的控制工作。在無塵車間內(nèi)，按其用途的不同應(yīng)控制下列參數(shù)：

測試狀態(tài)的確定;

空氣中粒子的濃度;

氣流的風(fēng)速和單向性(對單向氣流而言);

風(fēng)量和換氣次數(shù);

終過濾器的整體性;

空氣溫度和濕度;

無塵車間的密閉性;

無塵車間表面的潔凈度。

16、驗收

質(zhì)量安全檢查員：負(fù)責(zé)質(zhì)量、安全、檢查監(jiān)督工作，以常深入工地，做好檢查記錄，做到層層把關(guān)，避免返工，保證質(zhì)量，使工程質(zhì)量達到省優(yōu)良。