目前，超凈無塵凈化車間主要應(yīng)用于工業(yè)半導(dǎo)體、電子等行業(yè)，微電子領(lǐng)域超凈無塵凈化車間的設(shè)計理念與其它行業(yè)相比有更高的要求。以下是光學(xué)無塵車間的設(shè)計要求簡介：

一、光學(xué)微電子超凈無塵車間的平面布置要求：

1.無塵車間潔凈生產(chǎn)區(qū)域：潔凈等級設(shè)定為：百級、千級、萬級。

2.無塵生產(chǎn)輔助用房：潔凈等級設(shè)在萬級、十萬級，一般包括人員進(jìn)出的潔凈用房、進(jìn)出的物料清潔區(qū)和部分車間的辦公生活區(qū)等。

三、超凈無塵車間管理區(qū)：潔凈等級定為十萬級或三十萬級，一般包括辦公室、會議室、值班室及休息區(qū)。

4.車間生產(chǎn)專用設(shè)備區(qū)：本區(qū)域?qū)諝鈨艋燃墰]有要求，但要求與凈化車間設(shè)置有效的物理或空氣隔離，本區(qū)域主要設(shè)置凈化空調(diào)機(jī)房、電氣室、純水室、生產(chǎn)氣室。

二。超凈光學(xué)微電子無塵車間裝修要求。

1.車間吊頂材料：采用FFU盲板或選用防火彩鋼板，吊頂內(nèi)須可上人，對承重要有詳細(xì)的工藝。

2.車間內(nèi)墻裝修材料：使用耐火彩鋼板，彩鋼板厚度50mm，可盡可能有效地覆蓋現(xiàn)場面積，該彩鋼板在安裝時需作接地處理，以便達(dá)到靜電排出功能。

3.車間地面裝修：一般選用環(huán)氧自流平或PVC卷材，但無塵車間需對以上兩種材料進(jìn)行抗靜電處理。