近年來，大量試驗和實踐表明，將N0x、S0x、NaCl-等物質(zhì)帶入潔凈車間或無塵車間產(chǎn)生的污染物質(zhì)中，還包括極細空氣中的N0x、S0x、NaCl-、硼和DOP等微粒；極細玻璃纖維產(chǎn)品中的硼和DOP微粒；使用人員本身產(chǎn)生的NH、Na*等污染物；潔凈車間原材料散發(fā)的各類有機化合物、金屬離子；以及生產(chǎn)過程中使用的溶劑、洗滌液散發(fā)的各類化學污染物等。

所以對化學分子態(tài)污染物(AirbomlMolecularContaminants.簡稱AMC)的預防提到了日常，可以預見，隨著超大規(guī)模集成電路芯片工藝的不斷發(fā)展，用于去除分子態(tài)污染物、化學污染物的空氣凈化器，以及相應(yīng)的檢測手段，將得到廣泛應(yīng)用，并得到不斷改進。

電子學與潔凈車間工藝在電子產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中，對潔凈工作環(huán)境的規(guī)定較高，

例如：電真空器件-彩色顯象管，顯示裝置，電子類材料生產(chǎn)，光纖與光纖通信產(chǎn)品，精密電子儀器，電子計算機組裝，光盤，磁性記錄設(shè)備，半導體元器件和集成電路芯片等。

特別是集成電路芯片生產(chǎn)的高速發(fā)展，其特征規(guī)格日益微細化，集成度日益提高，目前使用的0.09am超大規(guī)模集成電路芯片規(guī)定控制潔凈室空氣潔凈度為IS01級，控制微粒粒徑為0.03am；因此近年來隨著超大規(guī)模集成電路芯片發(fā)展的需要，潔凈工藝的發(fā)展也日新月異，可以說，電子產(chǎn)品的不斷升級帶來了潔凈度的不斷發(fā)展，從3級空氣潔凈度，0.5am控制粒徑發(fā)展到目前國際標準ISO14644-1的空氣潔凈度基本等級9級，控制粒徑分為0.1|±m(xù),0.2|JLm,0.3|JLrn,0.5|xm等多種粒徑規(guī)定。

電子行業(yè)生產(chǎn)過程中對工作環(huán)境的控制規(guī)定，不僅對潔凈室空氣的清潔度有嚴格的規(guī)定，而且對與電子行業(yè)生產(chǎn)過程直接接觸的各類高純介質(zhì)，如高純水、高純氣、高純化學品等的純度雜質(zhì)含量等都有嚴格的控制規(guī)定；某些電子行業(yè)還對振動、靜電、電磁干擾、供電等方面有較嚴格的規(guī)定。