凈化車間在進行潔凈度檢測時，雖然規(guī)定了空氣的小采樣量，但在實際工作中，應在保證小采樣量的前提下，根據(jù)現(xiàn)有的檢測；

設備，盡可能采用大流量的灰塵粒子計數(shù)器。

步驟一：選擇檢測儀器；

雖然在凈化車間可以使用光散射粒子計數(shù)器、冷凝核粒子計數(shù)器、電子顯微鏡和光學顯微鏡進行潔凈度測定，但是目前使用多的

是光散射粒子計數(shù)器。因為這種粒子計數(shù)器能自動、連續(xù)、及時地對應室內(nèi)空氣中的粉塵含量，而且能直接顯示瞬時的粉塵濃度，

而且能對不同粒徑的粉塵濃度進行測量，因此，使用簡單、方便、及時、靈活。通常情況下，計數(shù)器可以分為兩類：一類是照射系

統(tǒng)光軸與探測系統(tǒng)光軸交匯處的橫向散射；另一類是兩光軸布置在同一直線上的前向散射。

步驟二：潔凈車間檢測潔凈度時，用光散射粒子計數(shù)器采集樣本。

對于粉塵粒子計數(shù)器檢測時的空氣采樣量，國標GBJ73-84規(guī)定：對于100級凈化車間而言，每次采樣量應為1L，對于1000-10000級凈

化車間而言，每次采樣量應為0.3L，對于10000級凈化車間而言，每次采樣量應為0.1L。

在凈化等級為100的車間，宜用大流量粒子計數(shù)器進行檢測。若沒有，還應采用粒子計數(shù)器，其每次采樣量不得小于1L。

潔凈車間在進行潔凈度檢測時，雖然規(guī)定了空氣的小采樣量，但在實際工作中，應在保證小采樣量的前提下，根據(jù)現(xiàn)有的檢測

設備，盡可能采用大流量的灰塵粒子計數(shù)器。

步驟三：潔凈車間施工布置檢測點問題。

按照中華人民共和國標準GBJ73-84《潔凈廠房設計規(guī)范》的要求，凈化車間潔凈度檢測點與室內(nèi)地面高度1.00m之間應設置在

水平線上；單向流型凈化車間測點總數(shù)不小于20個，測點間距在0.5-2.0m之間。平面單向流測點只設在凈化車間的工作區(qū)域，而非

單向流凈化車間則按50m2或更小的面積設5個測點。

：溫馨提示關于等效采樣問題。

等離子體取樣法是指在檢測粒子時，粒子計數(shù)器取樣管的入口方向與被取樣的單向氣流方向一致，空氣進入取樣管入口的平均速度

與單向氣流在該位置的平均速度相同。

由于凈化工程的檢測我們主要關注兩種粒徑，即0.5um和5um。對于≤0.5um的微粒，非等效采樣影響較小。當采樣空氣用于計算大

于或等于0.5um的顆粒濃度時，如果這些顆粒沒有受到非等動態(tài)條件的影響，那么計算也不會受到影響。所以在凈化車間區(qū)域進行

非等動態(tài)采樣只適用于大于等于0.5um的顆粒。